如今新的《大氣汙（wū）染防治法（fǎ）》、《大氣汙染防治行動計劃（huá）》、《揮發性（xìng）有機物(VOCs)汙染防治（zhì）技（jì）術政策》等法規的陸續頒布，我國對VOCs處理標準和力度逐步（bù）增（zēng）強。剝離液（yè）、稀釋液等其造成的有機廢氣具有（yǒu）大風量、低濃度芯片製造業因（yīn）為大量采（cǎi）用有機溶液作為清洗劑、光刻膠等特（tè）點。

　　為了更好地有（yǒu）效地處理此類VOCs廢氣，沸石轉輪吸附濃縮法成（chéng）為了行（háng）之有效的優選處理方案。沸石（shí）轉輪采用沸石分子篩作為吸附劑，具有耐高溫、較高機械強度等性能，可（kě）以滿足連續吸咐、脫附的（de）需求。針對不同的VOCs成份（fèn），應有目的性地選用吸附效率高的（de）沸石分子篩作（zuò）為吸附劑（jì），才能達到理想的、高效的VOCs處理（lǐ）效果。

　　因（yīn）此，文中以芯片廠為調查（chá）樣本，研究其VOCs廢氣成份（fèn），為其沸石轉輪係統的沸石分子篩選擇提供值得借鑒的方案和建議。現階段芯片製造業涉（shè）及揮發（fā）性有機物包括（kuò）：異丙醇、丙酮、二甘醇胺、二甲基乙酰胺、丙（bǐng）二醇單甲醚乙酸酯(PMG)、乙二酸（suān）、醋酸等。

　　研究人員對沸石吸附劑對芯片（piàn）製造業有（yǒu）機廢氣的吸附等溫線研究結果顯示：沸石分子篩對該行業有機廢氣具有較高的吸附容（róng）量和吸附效率，屬於有利的吸附等溫線。此外，沸石分子篩還具有耐高溫、機械強度高等性能，在處理VOCs廢氣方麵具有較高的綜合性能。其中，異丙醇是芯片生產製造過程中最常用的清洗劑；PMG是稀釋劑、光刻膠等物質的主（zhǔ）要成（chéng）分。兩者（zhě）的（de）年消耗量巨大，僅上海某芯片工廠，這2種物質的年用量以百噸計，是其VOCs有機廢氣中的主要汙染物。
　　廣東（dōng）天清佳遠環境（jìng）科技有（yǒu）限公（gōng）司生產的（de）沸（fèi）石轉輪催化燃燒裝置吸（xī）附選擇性強，運行（háng）成本低，使用壽命長，維護成本低，吸附脫附可連續運行，脫附達到能循環狀態節約能耗等優點。預處理過濾效率大於99%，淨化效率高於95%，整個裝置采用模組（zǔ）化設計（jì），滿足了小空間的需求，且提供持續及無人化的操控模式。搭載了天清（qīng）佳遠雲服務係統，實時（shí）遠程監控設備的運行狀況，采集並（bìng）記錄設備的運行數據，有專業人員對數據進行分析，共享給（gěi）用戶，讓用戶隨時了解設備運行狀況，並提出合理的運行建議，必（bì）要（yào）時主動迅速（sù）的為（wéi）用戶提供服務，及時為客戶解決問題。