沸（fèi）石轉輪中VOCs殘（cán）留（liú）的處理方法，目前對VOCs的末端處理方（fāng）法包括冷凝、吸附（fù）、氧化、生物處理、吸收、等離子體淨化等。我國防治VOCs的要求（qiú）和力度逐步加強，沸石旋轉吸附濃縮法處（chù）理（lǐ）低濃度廢氣成為許多企業的首選處理方案。在使用過程中，揮發性有機化合物殘（cán）留在轉輪中，會導致沸石轉輪劣化（huà），降低處理效（xiào）率（lǜ）。如（rú）何避免和處理這樣的情況？為了減少（shǎo）沸石轉輪（lún）設備中揮發性有機化合物的殘留（liú），應改善揮發性有機化合物廢氣的入口質量，提高脫附效率（lǜ）。

　　廢氣（qì）預處理（lǐ）措施通常包（bāo）括除塵、除濕、除霧、除高（gāo）沸物等。根據待處理VOCs廢氣的實際情（qíng）況，選擇合（hé）適的廢氣預處理措施。比如半導體的製造（zào）工藝對生產現（xiàn）場的顆粒物有嚴（yán）格的要求，一般都是清潔車間。因此，有機廢氣中顆粒物的含量很小，通常不需要除塵預（yù）處（chù）理。

　　1.廢氣（qì）預處（chù）理

　　芯片製造生（shēng）產過程中使用的主要有機（jī）原料通常具有低沸（fèi）點（diǎn）和揮發性的特點，但仍（réng）不排除少量高（gāo）沸點物質，如汽提液的主要（yào）成（chéng）分二甘醇胺(沸程218 ~ 224℃)。在高沸點物質的處理（lǐ）過程中，可以增加冷凝、前期活性炭吸附等（děng）預處理裝置，避免VOCs廢（fèi）氣中難以脫附的高沸點物質進入沸石轉輪。高沸點的VOCs進入廢氣（qì）管道後容易冷凝，從而增加廢氣（qì）的濕度。

　　2.用高壓（yā）空氣吹掃

　　在停機、檢查和維護期（qī）間，用高壓空（kōng）氣吹掃（sǎo）沸石轉輪。但高（gāo）壓空氣吹掃隻能去除附（fù）著在沸石（shí）轉輪表麵的灰塵，而VOCs有（yǒu）機物通常吸附（fù）在分子篩（shāi）孔隙中，無法有效去除，需要配合（hé）上述（shù）其他處理方法進行選擇。